PM5SE（含Shield Enclosure）型分析用微电流测量探针台系统可用于实验室级或工业级的微结构物理量测量、能够提供完整的物理电，光，声，压力等物理量的完整可测量系统。保证了实验的可发生，可重复，可验证的三要素，其广泛适用于半导体器件，光电器件，微机械系统，纳米器件等测试。其与相应仪表搭配组成的系统，测量噪声小于20fA，防震频率大于2.5Hz，能对大于20微米级的测试结构搭载，进行电学和光学等测量。

PM5SE型分析用微电流测量探针台系统与仪器仪表组合成系统后，可以用于器件级，晶圆级，模块级的光电声力参数测试、可靠性测试、失效分析、工艺监控等。系统允许对器件参数进行实时测量与分析。根据器件的种类不同，测试的内容也不尽相同，如三端器件、两端器件等。除此之外，系统还可以与各种信号源相连，实现对存储器、探测器等的测试。我们目前的纳米材料探测器研究，类似半导体中的CMOS器件测量，必须使用探针台进行测量。在未来太阳能电池中，同样需要这样的系统进行太阳能电池的光电特性测量。